hình 1Hình 3hình 2
Tên sản phẩm :Wafer Robot
Mô tả ngắn:

- Thiết kế phù hợp cho không gian làm việc giới hạn, các cơ cấu chuyên biệt của HIWIN giúp đảm bảo độ ổn định và tính lặp lại cao.

- Các ứng dụng bao gồm: vận chuyển đĩa wafer tự động, và định vị trí tự động.

 

 
Item Specification
Z-Axis Stroke 500mm
Velocity 250mm/s
T-Axis Turning Range 0゜~340゜
Angular Velocity 250゜/s
R-Axis Stroke 420mm
Velocity 750mm/s
Weight Approx. 48kg
Cleanliness ISO Class 2(ISO 14644)
MTBF 60,000hrs
Top Mount Plate 290x290 mm2
Operating Tempature 10~40℃
Repeatability ±0.02 mm
Payload Capacity 0.5Kgf
Control interfaces RS-232,I/O
Vacuum Require -40kPa ~ -60kPa, Ø6
Power Supply Single-Phase AC110V/AC220V
 
 
 
HOTLINE:
0909.273.787